电气工程与半导体设备自动化中的智能化技术探讨
Journal: Building Technology Research DOI: 10.32629/btr.v8i10.5095
Abstract
电气工程与半导体设备自动化正经历智能化转型的深层变革。本文围绕智能感知、 协同控制及数据驱动等核心技术路径,系统梳理了智能化技术在两大领域中的融合机 理与应用实践。研究指出,智能算法与边缘计算的协同介入,能够有效破解传统电气 系统在多变量耦合工况下的调控瓶颈,同时满足半导体制程对精密控制与柔性适配的 严苛要求。数据互通、协同管控与状态感知构成融合的三大支柱,推动两个领域从技 术叠加迈向深度协同。
Keywords
电气工程；半导体设备自动化；智能化技术；协同控制
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[1] 刘鹏,张建国.电气工程智能化发展及其挑战[J].电力技术,2023,42(5):98-104.
[2] 孙慧,陈鹏.半导体制造自动化技术现状与未来发展[J].电子科技,2022,40(3):65- 72.
[3] 李雪,王志强.智能化技术在设备故障诊断中的应用[J].机械工程学报,2024,58(2) :121-128.
[4] 张蕾,周涛.基于大数据分析的电气工程优化控制系统[J].工业自动化,2021,39(10 ):53-58.
[5] 王倩,刘晨.半导体设备智能化控制系统的应用研究[J].半导体技术,2023,41(4):7 7-84. 化工机械安全管理策略探究 孟存瑞 宁夏紫光天化蛋氨酸有限责任公司
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