集成电路工艺虚拟仿真实验教学设计与实践 ——以“GaAs 器件制造测试”为例
Journal: Modern Education Forum DOI: 10.12238/mef.v8i5.11508
Abstract
集成电路产业链中的晶圆制造环节最容易出现工业界与高校教育脱节,也是当前集成电路人才缺口的重灾区。本文以“GaAs器件制造测试”为例,系统探讨了集成电路工艺虚拟仿真实验教学内容、目标要求、效果评估等环节的设计与实践,让学生在虚拟环境中开展器件制造、设备操作、参数调整、器件测试、结果分析等实验操作,体验晶圆制造和测试的工业级仿真场景,将理论知识和实验操作有机结合起来,实现集成电路制造实际操作与课堂理论知识融合,兼顾了学生的动手能力和思维能力的培养,加深对理论知识的理解,并为后期的工业实践打下基础。
Keywords
集成电路工艺；虚拟仿真；教学设计；GaAs器件
Funding
教育部2024年全国师生信息素养提升实践活动典型作品(GJZX202401DX084)；教育部2024年产学合作协同育人项目“电子科学与技术专业(微电子技术方向)”实践设施建设(231007567172942)；四川省一流本科课程建设项目“GaAs器件制造测试一体化虚拟仿真实验”(2023YLKC45)；成都信息工程大学应用型示范课程建设项目《集成电路工艺原理》课程建设(JYJG2023023)。
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