电子厂房洁净区压差控制分析
Journal: Engineering and Management Science DOI: 10.12238/ems.v7i6.13843
Abstract
本文针对电子厂房洁净度控制问题,重点研究了压差控制在千级以上、万级和十万级洁净厂房中的应用。通过分析电子厂房洁净度等级标准及影响因素,探讨压差控制的基本原理和方法。研究设计适用于不同洁净度等级的压差控制系统,并对其性能进行测试和优化。结果表明,合理的压差控制策略能有效维持电子厂房洁净度,提高产品质量和生产效率。本研究为电子厂房压差及洁净度控制提供了理论依据和实践指导,对提升电子制造业工艺水平具有重要意义。
Keywords
电子厂房;压差控制;洁净度;千级以上;万级;十万级;空气过滤;气流组织
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[1] GB 50073-2013,洁净厂房对应规范[S].2013.
[2] GB 50472-2008,电子工业洁净厂房对应规范[S].2008.
[3] 陆耀庆.实用供热空调对应手册[M].北京:中国建筑工业出版社,2008.
[4] ISO 14644-4《洁净室及相关受控环境 第4部分:设计、建造和启动》
[2] GB 50472-2008,电子工业洁净厂房对应规范[S].2008.
[3] 陆耀庆.实用供热空调对应手册[M].北京:中国建筑工业出版社,2008.
[4] ISO 14644-4《洁净室及相关受控环境 第4部分:设计、建造和启动》
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